
摘要本研究以 99% 氧化鋁陶瓷為研究對(duì)象,通過(guò)控制不同燒結(jié)溫度(1550℃、1600℃、1650℃)制備陶瓷樣品,系統(tǒng)探究燒結(jié)溫度對(duì)氧化鋁陶瓷顯微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能及介電性能的影響規(guī)律。采用 X 射線(xiàn)衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、萬(wàn)能材料試驗(yàn)機(jī)及阻抗分析儀等表征手段,結(jié)合具體性能測(cè)試數(shù)據(jù)(如 1600℃燒結(jié)樣品抗彎強(qiáng)度達(dá) 385MPa,介電常數(shù)為 9.2),明確了 1600℃為燒結(jié)溫度。該研究為高性能氧化鋁陶瓷在電子封裝、耐磨零部件等領(lǐng)域的應(yīng)用提供了關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)與理論支撐,填補(bǔ)了中高溫?zé)Y(jié)區(qū)間氧化鋁陶瓷性能調(diào)控的研究空白。
1. 實(shí)驗(yàn)過(guò)程
本實(shí)驗(yàn)以高純度氧化鋁粉末(純度 99.9%,平均粒徑 1.2μm,山東某新材料公司生產(chǎn))為原料,采用傳統(tǒng)干壓成型 - 無(wú)壓燒結(jié)工藝制備樣品,具體步驟如下:
1.1 原料預(yù)處理與成型
首先將氧化鋁粉末與聚乙烯醇(PVA,質(zhì)量分?jǐn)?shù) 5%)粘結(jié)劑按比例混合,在行星式球磨機(jī)中以 200r/min 轉(zhuǎn)速濕法球磨 6h,確保物料均勻分散。球磨完成后,將漿料置于 80℃真空干燥箱中干燥 12h,去除水分并破碎過(guò) 80 目篩,得到流動(dòng)性好的陶瓷粉料。隨后采用液壓成型機(jī),在 20MPa 壓力下將粉料壓制成 Φ30mm×5mm 的圓片試樣和 4mm×4mm×30mm 的長(zhǎng)條試樣,保壓時(shí)間為 30s,每個(gè)溫度組制備 5 個(gè)平行樣品,以減少實(shí)驗(yàn)誤差。
1.2 燒結(jié)工藝
將成型后的生坯放入箱式電阻爐中,采用分段升溫制度:從室溫升至 600℃,升溫速率為 2℃/min,保溫 2h 以去除粘結(jié)劑(避免升溫過(guò)快導(dǎo)致生坯開(kāi)裂);隨后以 5℃/min 速率升至目標(biāo)燒結(jié)溫度(1550℃、1600℃、1650℃),保溫 4h 使晶粒充分生長(zhǎng)與致密化;后以 3℃/min 速率降溫至室溫,防止樣品因熱應(yīng)力產(chǎn)生缺陷。整個(gè)燒結(jié)過(guò)程在空氣氣氛下進(jìn)行,無(wú)需特殊保護(hù)氣體,降低工業(yè)應(yīng)用成本。
1.3 性能測(cè)試與表征
物相分析:使用日本理學(xué) D/max-2500 型 X 射線(xiàn)衍射儀(XRD)對(duì)樣品進(jìn)行物相表征,測(cè)試條件為 Cu 靶(λ=0.154nm),管壓40kV,管流 40mA,掃描范圍 2θ=10°-80°,掃描速率 5°/min。通過(guò) XRD 圖譜分析樣品的晶體結(jié)構(gòu),計(jì)算特征峰(如 α-Al?O?的(113)晶面)的相對(duì)強(qiáng)度,判斷是否存在雜質(zhì)相(如 SiO?、MgO 等)。
顯微結(jié)構(gòu)觀察:采用荷蘭 FEI Quanta 200 型掃描電子顯微鏡(SEM)觀察樣品斷面顯微結(jié)構(gòu),樣品需經(jīng)噴金處理(鍍層厚度約 10nm)以提高導(dǎo)電性,加速電壓為 20kV。通過(guò) SEM 圖像統(tǒng)計(jì)晶粒尺寸(采用截距法,每個(gè)樣品統(tǒng)計(jì) 50 個(gè)以上晶粒),觀察氣孔分布與形貌,計(jì)算樣品致密度(采用阿基米德排水法,公式為ρ= m?ρ 水 /(m? - m?),其中 m?為樣品干重,m?為樣品水中重量,m?為樣品濕重)。
力學(xué)性能測(cè)試:使用上海三思 CMT5105 型萬(wàn)能材料試驗(yàn)機(jī)測(cè)試樣品抗彎強(qiáng)度,采用三點(diǎn)彎曲法,跨距為 20mm,加載速率為 0.5mm/min,每個(gè)溫度組測(cè)試 5 個(gè)樣品,取平均值作為結(jié)果;通過(guò)維氏硬度計(jì)(HV-1000)測(cè)試樣品硬度,加載力為 10N,保壓時(shí)間 15s,每個(gè)樣品測(cè)試5 個(gè)不同位置,去除大值與小值后取平均。
介電性能測(cè)試:采用美國(guó) Agilent E4980A 阻抗分析儀測(cè)試樣品介電常數(shù)與介損角正切,測(cè)試頻率范圍為 1kHz-1MHz,測(cè)試溫度為室溫(25℃),每個(gè)樣品測(cè)試 3 次,確保數(shù)據(jù)重復(fù)性。

2. 結(jié)構(gòu)分析
2.1 物相結(jié)構(gòu)分析
XRD 測(cè)試結(jié)果顯示(圖 1),不同燒結(jié)溫度下的樣品均僅出現(xiàn) α-Al?O?的特征衍射峰(PDF#01-1307),未檢測(cè)到雜質(zhì)相,表明在實(shí)驗(yàn)溫度范圍內(nèi),氧化鋁粉末完全燒結(jié)成純?chǔ)?Al?O?相,且燒結(jié)溫度未改變樣品的晶體結(jié)構(gòu)。其中 1600℃燒結(jié)樣品的特征峰強(qiáng)度高((113)晶面峰強(qiáng)度為 2800cps),高于 1550℃(2200cps)與 1650℃(2500cps)樣品,說(shuō)明該溫度下樣品結(jié)晶度好,晶體排列更規(guī)整,這為好的性能奠定了結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)。
2.2 顯微結(jié)構(gòu)分析
SEM 圖像分析表明(圖 2),燒結(jié)溫度對(duì)氧化鋁陶瓷的顯微結(jié)構(gòu)影響顯著:1550℃燒結(jié)樣品中存在較多氣孔(氣孔率約 8%),晶粒尺寸較小(平均粒徑 2.5μm),且晶粒分布不均勻,存在部分未充分燒結(jié)的團(tuán)聚體,致密度僅為 90%;1600℃燒結(jié)樣品斷面平整,氣孔數(shù)量大幅減少(氣孔率降至 2%),晶粒呈均勻等軸狀生長(zhǎng),平均粒徑增至 4.0μm,致密度提升至 96.5%,達(dá)到高密度陶瓷標(biāo)準(zhǔn)(致密度≥95%);而 1650℃燒結(jié)樣品出現(xiàn)明顯晶粒異常長(zhǎng)大現(xiàn)象(平均粒徑 6.5μm),晶粒邊界出現(xiàn)微裂紋,氣孔率回升至 5%,致密度降至 93%,這是由于過(guò)高溫度導(dǎo)致晶粒過(guò)度生長(zhǎng),晶粒間結(jié)合力減弱,產(chǎn)生結(jié)構(gòu)缺陷。
2.3 性能與結(jié)構(gòu)關(guān)聯(lián)性分析
結(jié)合性能測(cè)試數(shù)據(jù)與結(jié)構(gòu)分析可知,陶瓷性能與顯微結(jié)構(gòu)存在直接關(guān)聯(lián):1600℃樣品因致密度高(96.5%)、晶粒均勻(4.0μm),抗彎強(qiáng)度達(dá)到 385MPa,顯著高于 1550℃(290MPa)與 1650℃(320MPa)樣品;維氏硬度也以 1600℃樣品高(1650HV),而1650℃樣品因晶粒異常長(zhǎng)大,硬度降至 1520HV。在介電性能方面,1600℃樣品介電常數(shù)為 9.2(1kHz),介損角正切為 0.002,表現(xiàn)出好的絕緣性能,這是因?yàn)榈蜌饪茁蕼p少了空氣(介電常數(shù)≈1)對(duì)整體介電性能的影響,而 1550℃樣品因氣孔率高,介電常數(shù)降至 8.5,1650℃樣品因微裂紋存在,介損角正切增至 0.004。
實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中,若將該氧化鋁陶瓷用于電子封裝基板,需同時(shí)滿(mǎn)足高絕緣性(介損<0.005)與一定力學(xué)強(qiáng)度(抗彎強(qiáng)度>300MPa),1600℃燒結(jié)樣品可完全滿(mǎn)足需求;而用于耐磨閥門(mén)芯時(shí),對(duì)硬度要求更高(HV>1600),1600℃樣品同樣具備優(yōu)勢(shì),這進(jìn)一步驗(yàn)證了燒結(jié)溫度選擇的合理性。
3. 結(jié)論
本研究通過(guò)控制燒結(jié)溫度成功制備了高性能 99% 氧化鋁陶瓷,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,燒結(jié)溫度對(duì)陶瓷的顯微結(jié)構(gòu)與性能具有顯著調(diào)控作用,且三者之間存在明確的關(guān)聯(lián)性:適當(dāng)提高燒結(jié)溫度可促進(jìn)晶粒生長(zhǎng)與致密化,提升材料力學(xué)與介電性能,但溫度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致晶粒異常長(zhǎng)大與結(jié)構(gòu)缺陷,反而使性能下降。
確定 1600℃為該氧化鋁陶瓷的燒結(jié)溫度,在此溫度下制備的樣品綜合性能優(yōu):物相為純 α-Al?O?相,致密度達(dá) 96.5%,平均晶粒尺寸 4.0μm,抗彎強(qiáng)度 385MPa,維氏硬度 1650HV,介電常數(shù) 9.2(1kHz),介損角正切0.002,各項(xiàng)性能指標(biāo)均滿(mǎn)足電子封裝、耐磨零部件等領(lǐng)域的應(yīng)用要求。
本研究采用的傳統(tǒng)干壓成型 - 無(wú)壓燒結(jié)工藝具有操作簡(jiǎn)單、成本低、易于工業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì),所獲得的燒結(jié)工藝參數(shù)與性能數(shù)據(jù)可為氧化鋁陶瓷的規(guī)模化制備提供直接參考。同時(shí),研究明確了顯微結(jié)構(gòu)(致密度、晶粒尺寸、氣孔率)對(duì)陶瓷性能的影響機(jī)制,為其他陶瓷材料(如氧化鋯、氮化硅陶瓷)的性能調(diào)控提供了理論借鑒。
后續(xù)研究可進(jìn)一步探索燒結(jié)助劑(如 MgO、SiO?)對(duì)氧化鋁陶瓷性能的優(yōu)化作用,或采用熱壓燒結(jié)、微波燒結(jié)等先進(jìn)工藝縮短燒結(jié)時(shí)間、降低燒結(jié)溫度,以進(jìn)一步提升材料性能與生產(chǎn)效率,拓展其在高溫、高壓等極端環(huán)境下的應(yīng)用范圍。